{111}ダイヤモンドにおけるホウ素取り込みの基板オフ角依存性
(Boron incorporation in homoepitaxial CVD diamond grown on misoriented {111} substrates)
第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-02-29 03:20:34 +0900更新時刻: 2020-02-29 03:20:34 +0900