HfO2基強誘電体の相安定性と厚膜化
(Preparation of thick HfO2 film through considering phase stability)
| 著者 | 清水 荘雄, 三村 和仙, 舟窪 浩. |
|---|---|
| 会議名 | 第４回元素戦略シンポジウム |
| 発表年 | 2020 |
| 言語 | Japanese |
| 著者 | 清水 荘雄, 三村 和仙, 舟窪 浩. |
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| 会議名 | 第４回元素戦略シンポジウム |
| 発表年 | 2020 |
| 言語 | Japanese |