HfO2基強誘電体の相安定性と厚膜化
(Preparation of thick HfO2 film through considering phase stability)
第４回元素戦略シンポジウム. 2020年02月03日-2020年02月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-08-05 03:00:18 +0900 更新時刻: 2020-08-05 03:00:18 +0900