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HfO2基強誘電体の相安定性と厚膜化
(Preparation of thick HfO2 film through considering phase stability)

清水 荘雄, 三村 和仙, 舟窪 浩.
第4回元素戦略シンポジウム. 2020.

NIMS著者


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    作成時刻: 2020-08-05 03:00:18 +0900更新時刻: 2020-08-05 03:00:18 +0900

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