HOME > 口頭発表 > 書誌詳細液体原料を用いた高純度インジウム酸化膜の原子層堆積(In2O3 films deposited by atomic layer deposition using liquide In precursor)水谷 文一, 東慎太郎, 生田目 俊秀. 第136回表面技術協会講演大会. 2017.NIMS著者生田目 俊秀Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-08-02 22:30:46 +0900 更新時刻 :2018-06-05 14:11:31 +0900