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液体原料を用いた高純度インジウム酸化膜の原子層堆積
(In2O3 films deposited by atomic layer deposition using liquide In precursor)
第136回表面技術協会講演大会. 2017.
NIMS author(s)
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Created at: 2017-08-02 22:30:46 +0900Updated at: 2018-06-05 14:11:31 +0900