サファイア基板上へのScN薄膜のヘテロ成長とその電気特性
(Heteroepitaxial Growth and Electric Properties of ScN Films on Sapphire Substrates)
2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会. 2014年03月17日-2014年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:36:40 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:47:43 +0900