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サファイア基板上へのScN薄膜のヘテロ成長とその電気特性
(Heteroepitaxial Growth and Electric Properties of ScN Films on Sapphire Substrates)
2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会. March 17, 2014-March 20, 2014.
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Created at: 2017-01-08 05:36:40 +0900 Updated at: 2017-07-10 21:47:43 +0900