シリコンナノ結晶含有SiO2膜中へのPイオン注入
(P ion implantation into SiO2 including of silicon nano crystals)
ナノ学会第5回大会. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:32:38 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:55:38 +0900