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蛍光顕微鏡と2次イオン質量分析を用いたGaInN薄膜の不均一評価
(Characterization of heterogeneity on GaInN films by fluorescence microscope and secondary ion mass spectrometry)

著者豊満 直樹, サン リウエン, 本田徹, 角谷 正友.
会議名2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
発表年2014
言語Japanese

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