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著者名有馬一也, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル同一基板上にホモエピタキシャル成長した高出力MWPCVDダイヤモンド薄膜のボロンドーピング濃度依存性
(Boron concentration dependence of p-type diamond films homoepitaxially grown on identical substrate using high-power MWPCVD meth)
会議名第19回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2005
言語Japanese

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