イオン注入応用技術によるナノ粒子構造作製とナノパターンニングへの展開
(Fabrication of Nanoparticle Structures by Ion Implantation-based Technology)
荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第178回研究会. 2007. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:52:23 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:41:42 +0900