(Combinatorial Materials Exploration for Gate Stack Structures of Metal Gate Electrodes and High-κ Dielectric Films)
2005 MRS Fall Meeting. 2005年11月28日-2005年12月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-25 01:05:45 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:30:00 +0900