HOME > 口頭発表 > 書誌詳細ポリマー膜への紫外線照射を利用したシリコン表面応力制御五十嵐 慎一, 板倉 明子, 戸田 雅也, 北島 正弘, L. Chu, A.N. Chifen, R. Forch, R. Berger. 第46回真空に関する連合講演会. 2005年11月09日-2005年11月11日.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 03:54:50 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:24:52 +0900
