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著者名五十嵐 慎一, 板倉 明子, 戸田 雅也, 北島 正弘, L. Chu, A.N. Chifen, R. Forch, R. Berger.
タイトルポリマー膜への紫外線照射を利用したシリコン表面応力制御
会議名第46回真空に関する連合講演会
発表年2005
言語Japanese
外部での文献参照

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