ポリマー膜への紫外線照射を利用したシリコン表面応力制御

五十嵐慎一, 板倉明子, 戸田雅也, 北島正弘, L. Chu, A.N. Chifen, R. Forch, R. Berger.

第46回真空に関する連合講演会. November 09, 2005-November 11, 2005.

Created at: 2017-01-08 03:54:50 +0900 Updated at: 2017-07-10 19:24:52 +0900