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ポリマー膜への紫外線照射を利用したシリコン表面応力制御

五十嵐 慎一, 板倉 明子, 戸田 雅也, 北島 正弘, L. Chu, A.N. Chifen, R. Forch, R. Berger.
第46回真空に関する連合講演会. 2005.

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    Created at: 2017-01-08 03:54:50 +0900Updated at: 2017-07-10 19:24:52 +0900

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