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著者名野呂雅和, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル高出力マイクロ波プラズマCVD法における多結晶ダイヤモンド膜の高品質化
(Improvement in crystalline quality of poly-crystalline diamond films deposited by high-power microwave-plasma CVD)
会議名第19回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2005
言語Japanese

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