電子ビーム描画によってサファイアの上の平面配向の電極の ナノファブリケーション
(Nanofabrication of Planar Four-probe Electrode on Sapphire Substrate by E-beam Lithography)
Active Nano-Characterization and Technology Project. 2003年11月11日-2003年11月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:59:05 +0900 更新時刻: 2018-05-30 19:09:38 +0900