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ZnOスパッタコーティング膜の結晶配向性制御と摩擦特性
(Friction properties of ZnO sputter coatings with crystal preferred orientation)
第58回応用物理学関係連合講演会. 2011.
NIMS author(s)
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Created at: 2017-02-14 11:09:29 +0900Updated at: 2017-07-10 21:07:53 +0900