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| 著者名 | IWAI, Hideo, OGIWARA, Toshiya, TANAKA, Akihiro, TANUMA, Shigeo, FUKUSHIMA, Sei, KIMURA, Takashi. |
|---|---|
| タイトル | Electron Beam Damages on SiO2 Thin Films (VAMAS-SCA Round Robin) (電子ビームがSiO2の薄膜に与える損傷(VAMAS-SCAラウンドロビン試験報告)) |
| 会議名 | PSA-13 |
| 発表年 | 2013 |
| 言語 | English |