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RFスパッタリング法による亜鉛添加酸化スズ薄膜の水素、エタノールガスセンサ特性評価
(Evaluation of sensor property for hydrogen and ethanol of zinc-doped tin-dioxide thin films fabricated by rf sputtering)
第35回エレクトロセラミックス研究討論会. October 22, 2015-October 23, 2015.
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Created at: 2017-02-14 11:39:15 +0900 Updated at: 2017-07-10 22:25:53 +0900