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著者名佐久間 芳樹, 間野 高明, 大竹 晃浩.
タイトルガス状プリカーサーを用いたMoS2単層膜のスケーラブルなCVD成長
(Growth of Monolayer MoS2 by Scalable CVD Method using Gas-Phase Precursors)
会議名第77回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2016
言語Japanese
外部での文献参照

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