ガス状プリカーサーを用いたMoS2単層膜のスケーラブルなCVD成長
(Growth of Monolayer MoS2 by Scalable CVD Method using Gas-Phase Precursors)
第77回応用物理学会秋季学術講演会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:48:24 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:59:16 +0900