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著者名石井 真史, 吉田朋子, 櫻井 健次.
タイトルSi酸化物欠陥のX線励起可視発光分析
(X-ray excited optical luminescence (XEOL) analyses of Si oxide defects)
会議名第54回応用物理学関係連合講演会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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