光熱偏向分光法による欠陥密度定量化に向けたGaNバルク評価
(Characterization of GaN bulk by photothermal deflection spectroscopy for quantitative analysis of defect density)
第８５回応用物理学会秋季学術講演会. 2024年09月16日-2024年09月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-11-27 17:37:08 +0900 更新時刻: 2024-11-27 17:37:08 +0900