Development of low frictional metal oxide coating with crystal preferred orientation by a combinatorial sputter coating system
IUMRS-International Conference on Electronic Materials. 2012年09月23日-2012年09月28日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:02:23 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:02 +0900