リソグラフィー後のグラフェンおよびh-BNの清浄化
(Cleaning of Graphene and h-BN Surfaces after Lithography Process)
EM-NANO 2015. 2015.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:24:10 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:08:53 +0900