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著者名TAJIMA, Nobuo, OHNO, Takahisa, HAMADA, Tomoyuki, KatsumiYoneda, Seiichi Kondo, Nobuyoshi Kobayashi, Manabu Sinriki, Kazuhiro Miyazawa, Kaoru Sakota, Satoshi Hasaka, Minoru Inoue.
タイトルSiOCH Films with hydrocarbon Network Bonds:First-Principles Investigation
(炭化水素ネットワーク結合を有するSiOCH膜:第一原理的研究)
会議名SSDM 2006
発表年2006
言語English
外部での文献参照

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