炭化水素ネットワーク結合を有するSiOCH膜：第一原理的研究
(SiOCH Films with hydrocarbon Network Bonds:First-Principles Investigation)
SSDM 2006. 2006年09月13日-2006年09月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:00:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:42:29 +0900