極低角度入射ビームを用いたオージェ深さ方向分析による酸化物薄膜の分析
(Auger Depth Profiling Analysis of Oxide Thin Film Using an Ultra Low Angle Incidence Beam )
第73回分析化学討論会. 2013年05月18日-2013年05月19日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:38:28 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:35:09 +0900