Characterization of Thin Films Coated by Developed Combinatorial Sputter Coating System to Find Optimum Growth Condition
(コンビナトリアルスパッタコーティングシステムを用いたコーティング膜の結晶成長の最適化)
APF-9. 2004.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:39:43 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:56:00 +0900