TEM-CBED法を用いたAlNの極性決定評価
(Polarity determination of AlN by convergent beam electron diffraction method based on transmission electron microscopy)
第31回電子材料シンポジウム. 2012年07月11日-2012年07月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:39:15 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:22:59 +0900