試料冷却ステージを用いた極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析による酸化物薄膜の分析
(Ultra low angle incidence beam Auger depth profiling analysis of oxide thin film using a sample cooling stage )
日本分析化学会第63年会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:19:55 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:54:35 +0900