HOME > Presentation > Detail
試料冷却ステージを用いた極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析による酸化物薄膜の分析
(Ultra low angle incidence beam Auger depth profiling analysis of oxide thin film using a sample cooling stage )
日本分析化学会第63年会. September 17, 2014-September 19, 2014.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-01-08 03:19:55 +0900Updated at: 2017-07-10 21:54:35 +0900