Si基板上に直接成長させたGe膜のRBS測定
(RBS analysis of the Ge layer directly grown on Si substrate)
16th International Conference on Ion Beam Modification of Materi. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:05:02 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:14:40 +0900