SiO2薄膜の電子線援用スパッタリングによる微細加工の試み
(Development of Fine Patterning of SiO2 Thin Films Using Electron Beam Enhanced Sputtering)
第68回応用物理学会学術講演会. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:09:19 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:59:18 +0900