HOME > Presentation > Detail
緻密化したターゲットを利用した酸化物薄膜の合成とガスセンサ特性の評価
(Synthesis of oxide thin films using densified targets and evaluation of gas sensor characteristics)
日本セラミックス協会 第３７回秋季シンポジウム. September 10, 2024-September 12, 2024.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2024-09-18 03:15:26 +0900 Updated at: 2024-09-18 03:15:26 +0900