緻密化したターゲットを利用した酸化物薄膜の合成とガスセンサ特性の評価
(Synthesis of oxide thin films using densified targets and evaluation of gas sensor characteristics)
日本セラミックス協会 第３７回秋季シンポジウム. 2024年09月10日-2024年09月12日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-09-18 03:15:26 +0900 更新時刻: 2024-09-18 03:15:26 +0900