In-situ透過電子顕微鏡及びEELS解析による
(In-situ TEM observation and EELS analysis of TaOx-cap/HfO2/SiO2 stack structure)
2010年 春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:55:34 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:47:13 +0900