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著者名板倉 明子, グリネビッチ アンドレイ, 戸田雅也, N.
タイトル薄膜の実効的ヤング率と膜質の関係
(Active Youngs modulus of thin film compared with the structure.)
会議名第27回表面科学講演大会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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