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同時スパッタ法を用いて作製したAl2O3薄膜のスイッチング特性
(Switching properties of Al2O3 thin films fabricated by co-sputtering method)

著者李 政祐, 中野 嘉博, 原田 善之, 児子 精祐, 加藤 誠一, 北澤 英明, 木戸 義勇.
会議名2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会
発表年2010
言語Japanese

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