同時スパッタ法を用いて作製したAl2O3薄膜のスイッチング特性
(Switching properties of Al2O3 thin films fabricated by co-sputtering method)
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:58:53 +0900更新時刻: 2018-06-05 12:41:17 +0900