MBE法により成長させたScN薄膜へのプラズマ照射の影響
(Effect of plasma irradiation on MBE-grown ScN thin films)
日本セラミックス協会 2021年年会. 2021年03月23日-2021年03月25日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-04-16 03:00:19 +0900 更新時刻: 2021-04-16 03:00:19 +0900