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MBE法により成長させたScN薄膜へのプラズマ照射の影響
(Effect of plasma irradiation on MBE-grown ScN thin films)
日本セラミックス協会 2021年年会. March 23, 2021-March 25, 2021.
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Created at: 2021-04-16 03:00:19 +0900 Updated at: 2021-04-16 03:00:19 +0900