金属/Y203界面における低温化学反応：誘電緩和による評価
(Low temperature chemical reaction at metal/Y2O3 interface: Evaluation by dielectric relaxation)
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会. 2008年03月27日-2008年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:40:17 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:11:04 +0900