Structural Property of Boron-doped AlN grown by Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy
(MOVPE法により成長させたボロンドープAlNの構造評価)
電子材料シンポジウム35. 2016年07月06日-2016年07月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-26 21:13:49 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:58:27 +0900