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著者名寺地 徳之, 渡邊 賢司.
タイトル酸素添加条件で成長したホモエピタキシャルダイヤモンド(100)薄膜中の欠陥評価
会議名第63回応用物理学会学術講演会
発表年2016
言語Japanese

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