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ZnxMn1-xSバッファー層がSi上への無極性面AlN結晶成長へ与える効果

森田 雅也, 石橋啓次, 高橋健一郎, 知京 豊裕, 小椋厚志, 長田 貴弘.
日本電子材料技術協会 第57回秋期講演大会. 2020.

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    Created at: 2021-08-07 03:00:25 +0900Updated at: 2021-08-07 03:00:25 +0900

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