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Hf系High-kゲート絶縁膜におけるN原子の本質的な効果:第一原理計算による検討

梅澤 直人, 白石 賢二, 大野 隆央, 渡部 平司, 知京 豊裕, 鳥居和功, 山部 紀久夫, 山田 啓作, 北島洋, 有門経敏.
2005年春期 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005年03月29日-2005年04月01日.

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    作成時刻: 2017-01-08 04:23:37 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:15:34 +0900

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