カルーセラ型マグネトロンスパッタリング装置によるTi-Pd-Ni系形状記憶合金薄膜の作製
(Ti-Pd-Ni Shape Memory Thin Films Formed by Carousel Type Magnetron)
日本金属学会2000年春期（第126回）大会. 2000年03月29日-2000年03月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:56:29 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:03:40 +0900