Combinatorial characterizationof metal gate /high-k oxide interface

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CHIKYO, Toyohiro, ParhatAhmet, 中島清美, NAGATA, Takahiro, Gunther Richter, Thomas　Wagner.

Electric Materials Conference. 2005年06月22日-2005年06月24日.

作成時刻: 2019-03-04 09:37:25 +0900 更新時刻: 2019-03-04 09:37:25 +0900