HOME > 口頭発表 > 書誌詳細標準コンダクタンスエレメントを用いたESD計測の定量化の試み(Quantification of ESD measurements using standard conductance elements)宮内 直弥, 矢ヶ部 太郎, 北島 正弘, 吉田肇, 板倉 明子. 2021年 日本真空表面学会学術講演会. 2021年11月03日-2021年11月05日.NIMS著者宮内 直弥矢ヶ部 太郎板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-01-10 03:08:22 +0900 更新時刻: 2022-01-10 03:08:22 +0900