セラミックスインテグレーションのための酸化亜鉛単結晶表面の微細加工 -湿式エッチング挙動の検討-
(Fabrication of micro-patterns on ZnO single crystals by wet-chemical-etching for ceramics integration)
日本セラミックス協会秋季シンポジウム. 2004年09月17日-2004年09月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:14:27 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:04:14 +0900