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セラミックスインテグレーションのための酸化亜鉛単結晶表面の微細加工 -湿式エッチング挙動の検討-
(Fabrication of micro-patterns on ZnO single crystals by wet-chemical-etching for ceramics integration)
日本セラミックス協会秋季シンポジウム. September 17, 2004-September 19, 2004.
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Created at: 2017-02-14 11:14:27 +0900Updated at: 2017-07-10 19:04:14 +0900