酸化物のパルスレーザー蒸着における酸素分圧と結晶性 〜酸化スズでの検討〜
(Effect of background oxygen pressure on PLD of oxide thin films: case study on tin oxide)
日本セラミックス協会2011年会. 2011.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:53:20 +0900更新時刻: 2018-05-21 20:57:22 +0900