プラズマ重合膜の体積膨張
(Swelling of plasma-polymerized film)
International workshop on nanomechanical sensors. 2006.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 10:53:07 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:37:14 +0900