プラズマ重合膜の体積膨張
(Swelling of plasma-polymerized film)
International workshop on nanomechanical sensors. 2006年05月07日-2006年05月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:53:07 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:37:14 +0900